Advanced MEMS Foun dry Solution

Create New Customer Value through Collaboration & Development

MEMS FOUNDRY SOLUTIONS

㈜위드멤스는 축적된 경험과 노하우를 바탕으로 고객의 요구에 대응하기 위해 다양한 단위 공정 개발, 시제품 개발 및 양산 파운드리(MEMS Foundry) 서비스를 제공하고 있습니다.

  • · Photolithography : 8inch/12inch, Both side alignment available
  • · Thin Film Deposition : Sputter/Evaporation, Ti, Cu, NiCr, Al, Zr, TaN, Au etc
  • · Etching : 8inch Silicon DRIE, Polyimide RIE, SiO2, PZT, TaN etc
  • · Electro/Electroless Plating : Cu, Ni, NiCo, Au, SnAg, Rh, Pd etc
  • · CMP : Si, Si3N4, SiC, GaAs, SiO2, Metal(NiCo, Au, SUS etc), Polymer(PR, PI) etc
  • · Dicing : Si, SiC, Glass, Al2O3 etc
  • · Analysis : SEM, EDS, X-RAY, Surface Profile, AFM, AOI, AOR, BBT etc
Etching
Lithography
Deposition
Electro Plating
Bumping
Packaging

PRODUCTS

Trams Blade(Rh Tip)
Polyimide Film
Silicon Guide
MEMS Gyroscope
2D Blade
Patterned Glass
Si Interposer(TSV)
Micro Mirror Scan
TRAMS Probe
MLP(300mm)
Alumina Pattern
RF MEMS Switch

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TEL

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